干擾雜質的影響主要指除背景氣和待測組分外存在的少量未知雜質，如燃料電池式氧分析儀對酸性、氧化性氣體敏感，如果氣體中含有酸性氣體成分，如CO2、H2S、HCl、HCN等，則燃料池傳感器易中毒失效。而微量的還原性氣體對氧化鋯式氧分析儀的分析結果產生影響，最近又發現微量的N2O對氧化鋯式氧分析儀產生影響，所以在檢測時要充分考慮到雜質的存在，選擇恰當的分析儀，才能得到準確的結果。

　　此外還要注意下面兩點的影響：

　　1.泄漏

　　在初次啟用前必須嚴格檢漏。氧分析儀只有在嚴密不漏的前提下才能獲得準確的數據結果。任何連接點、焊點、閥門等處的不嚴密，將會導致空氣中的氧反滲進入管道及氧分析儀內部，從而得出含氧量偏高的結果。

　　2.污染

　　在重新使用時，首先須注意在連接氧分析儀的取樣管路時是否漏入空氣，并且必須認真將漏入氧分析儀的空氣吹除干凈或外接過濾器，盡量不使大量氧氣通過氧分析儀的傳感器以延長傳感器壽命。